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2024

8-14

聚焦離子束電鏡是一種利用高能量的離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行掃描、成像和加工的技術(shù)，通過(guò)在同一設(shè)備中集成電子束和離子束，實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品的高精度成像和加工。聚焦離子束電鏡的工作原理可以分為以下幾個(gè)步驟：1、離子源產(chǎn)生離子：一個(gè)液態(tài)金屬在加熱后形成氣體，通過(guò)施加高電壓使氣體中的金屬原子電離，形成離子。這些離子隨后被提取并通過(guò)一系列透鏡系統(tǒng)進(jìn)行聚焦。2、離子束的聚焦與掃描：經(jīng)過(guò)聚焦的離子束直徑可以達(dá)到幾十納米甚至更小，具有高的能量密度。這個(gè)細(xì)小的離子束被精確控制，可以在樣品表面進(jìn)行掃描。3、...

2024

8-11

如何維護(hù)和保養(yǎng)環(huán)境掃描電子顯微鏡？

環(huán)境掃描電子顯微鏡是一種高級(jí)的成像設(shè)備，它能夠在接近自然狀態(tài)的環(huán)境中觀察樣品。為了確保其精確度和延長(zhǎng)使用壽命，對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)?shù)木S護(hù)和保養(yǎng)是非常重要的。以下是一些關(guān)于如何維護(hù)和保養(yǎng)環(huán)境掃描電子顯微鏡的建議：一、清潔鏡體和樣品室：1、定期清理內(nèi)部，包括樣品室、探測(cè)器和光學(xué)元件。使用無(wú)塵紙或軟布輕輕擦拭，避免刮傷敏感部件。2、確保使用適當(dāng)?shù)那鍧崉?，不?huì)對(duì)部件造成損害。二、檢查和更換真空泵油：1、定期檢查真空泵的油位，確保油位在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)。2、按照制造商的推薦時(shí)間表更換泵油，保持泵的...

2024

8-9

掃描電鏡下的陶瓷材料微觀結(jié)構(gòu)

陶瓷材料是人類生活和生產(chǎn)中不可缺少的一種材料，陶瓷材料是天然或合成化合物經(jīng)過(guò)成型和高溫?zé)Y(jié)制成的一類無(wú)機(jī)非金屬材料，具有高熔點(diǎn)、高硬度、高耐磨性、耐氧化等優(yōu)點(diǎn)，可用作結(jié)構(gòu)材料、功能材料。氮化鋁陶瓷（AlN）隨著新能源行業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體器件在風(fēng)力發(fā)電、電動(dòng)汽車等新能源行業(yè)的應(yīng)用中占據(jù)日益重要的地位。半導(dǎo)體器件的功率和頻率更高，集成規(guī)模也越來(lái)越大。與傳統(tǒng)的樹脂基片材料相比，氮化鋁（AlN）陶瓷材料具有較大溫度范圍內(nèi)使用無(wú)異常、導(dǎo)熱系數(shù)高、硬度大、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)，是優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體器件的最...

2024

8-8

環(huán)境真空掃描電鏡在材料科學(xué)中的應(yīng)用

環(huán)境真空掃描電鏡是一種能夠在高真空以外的環(huán)境中對(duì)樣品進(jìn)行成像的掃描電鏡。這種電鏡能夠觀察和分析在傳統(tǒng)高真空條件下無(wú)法觀察的樣品，如非導(dǎo)電材料、含水樣品等。以下是環(huán)境真空掃描電鏡在材料科學(xué)中的應(yīng)用：1、非導(dǎo)電材料的觀察：傳統(tǒng)的掃描電鏡需要樣品具有導(dǎo)電性，以便于電子束能夠順利掃描樣品表面。然而，許多重要的材料如塑料、陶瓷、聚合物和復(fù)合材料等都是非導(dǎo)電的。它能夠在低真空或甚至濕潤(rùn)的條件下工作，使得這些非導(dǎo)電材料可以直接觀察，無(wú)需經(jīng)過(guò)導(dǎo)電涂層的處理。2、含水樣品的分析：在生物、化學(xué)和...

2024

7-31

鎢燈絲掃描電鏡的工作流程

鎢燈絲掃描電鏡可用于納米材料、復(fù)合材料、陶瓷材料、金屬材料、高分子材料、薄膜材料、建筑材料、生物材料、電子材料、導(dǎo)體與非導(dǎo)體地礦、考古等表面微觀形貌觀察及成分分析。鎢燈絲掃描電鏡通過(guò)對(duì)電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽(yáng)極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過(guò)掃描線圈磁場(chǎng)的控制，電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號(hào)，經(jīng)探測(cè)器收集、放大器放大后，調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測(cè)。鎢燈絲掃描電鏡的分辨率通常較高，...

2024

7-18

掃描電鏡（SEM）操作指南：如何獲得高質(zhì)量的圖片

如何評(píng)價(jià)SEM圖片的質(zhì)量？這是一個(gè)頗為復(fù)雜的問題，涉及到主觀因素。SEM圖的解讀需要觀察者根據(jù)自己的經(jīng)驗(yàn)和知識(shí)進(jìn)行分析和判斷，其中觀察者的主觀偏見或期望可能會(huì)影響對(duì)圖像的解讀，比如刻意避開不理想的區(qū)域，選擇局部OK區(qū)域來(lái)代表自己的預(yù)期。如果忽略主觀因素，那怎么才算一張高質(zhì)量的SEM照片呢？從視覺感受出發(fā)：1.要具備高分辨能力，能夠清晰地顯示樣品的細(xì)節(jié)和顯微結(jié)構(gòu)，邊界銳利，不模糊。2.襯度適中，突出樣品的特征，使不同部分易于區(qū)分。3.低噪聲，具有足夠的信噪比，實(shí)現(xiàn)圖像細(xì)節(jié)的高清...

2024

7-13

透射掃描電子顯微鏡的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？

透射掃描電子顯微鏡是一種利用電子束在樣品上掃描，通過(guò)接收透射電子信號(hào)或二次電子信號(hào)來(lái)成像的電子顯微鏡。其主要應(yīng)用領(lǐng)域包括：1、材料科學(xué)：透射掃描電子顯微鏡在材料科學(xué)中的應(yīng)用非常廣泛，包括納米材料的形貌和結(jié)構(gòu)分析，如納米顆粒、納米線、納米膜等；材料的微觀結(jié)構(gòu)研究，如晶體缺陷、相變、晶界等；以及材料的性能研究，如力學(xué)性能、電學(xué)性能、磁性能等。2、生物學(xué)：在生物學(xué)中的應(yīng)用主要包括細(xì)胞和組織的超微結(jié)構(gòu)研究，如細(xì)胞膜、細(xì)胞器、病毒等；生物大分子的結(jié)構(gòu)研究，如蛋白質(zhì)、核酸、多糖等；以及生...

2024

7-11

如何獲取導(dǎo)電不良樣品的高質(zhì)量SEM圖

掃描電鏡的使用者都不愿意遇到的一大類試樣就是導(dǎo)電不良的樣品，比如聚合物薄膜、玻璃、陶瓷等，由于這些試樣電導(dǎo)率都較低，尤其是玻璃，甚至低于10-10S/m，由此帶來(lái)的荷電效應(yīng)問題，使得我們想要得到一張高質(zhì)量的SEM圖難度較大，今天我們就來(lái)聊一聊如何解決此類問題。首先，進(jìn)入大部分用戶腦海的肯定是“鍍金”一詞，即采用離子濺射儀在試樣表面鍍上一層薄薄的金屬膜，改善導(dǎo)電性，但其中的問題是Pt/Au顆粒尺寸一般是納米級(jí)，如Pt顆粒尺寸一般是2~3nm，但是由于真空度的影響，在較低的真空下...

2024

7-10

場(chǎng)發(fā)射電鏡在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用有哪些？

場(chǎng)發(fā)射電鏡是一種利用場(chǎng)發(fā)射電子槍產(chǎn)生高亮度、細(xì)聚焦的電子束來(lái)掃描樣品表面，并通過(guò)檢測(cè)從樣品表面散射出來(lái)的電子信號(hào)來(lái)獲取高分辨率圖像的顯微鏡。在半導(dǎo)體工業(yè)中，場(chǎng)發(fā)射電鏡的應(yīng)用非常廣泛，主要包括以下幾個(gè)方面：1、缺陷分析：它可以用于觀察半導(dǎo)體材料和器件中的微觀缺陷，如晶格缺陷、位錯(cuò)、層錯(cuò)等。這些缺陷可能會(huì)影響半導(dǎo)體器件的性能和可靠性，因此對(duì)其進(jìn)行精確分析至關(guān)重要。2、納米結(jié)構(gòu)表征：隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，納米尺度的結(jié)構(gòu)越來(lái)越多地被應(yīng)用于器件制造中。也能夠提供納米級(jí)別的高分辨率圖像，...

2024

7-7

FIB雙束電鏡的真空系統(tǒng)是如何工作的？

FIB雙束電鏡是利用電磁透鏡將離子束聚焦成非常小的點(diǎn)，然后用這個(gè)點(diǎn)在樣品上進(jìn)行掃描，通過(guò)檢測(cè)二次電子或背散射電子信號(hào)來(lái)獲取樣品表面信息的設(shè)備。常用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)、生命科學(xué)等領(lǐng)域中的微觀分析、刻蝕和沉積等操作。FIB雙束電鏡的真空系統(tǒng)對(duì)于其正常運(yùn)作至關(guān)重要，因?yàn)楦哒婵窄h(huán)境可以保證離子束和電子束不會(huì)與氣體分子發(fā)生相互作用，從而避免束流散射和能量損失，確保成像和加工的精確性。下面是FIB雙束電鏡真空系統(tǒng)的一般工作原理：1、初級(jí)泵抽：?jiǎn)?dòng)時(shí)，首先會(huì)使用機(jī)械泵或旋片泵進(jìn)行初級(jí)抽...