環(huán)境真空掃描電鏡(Environmental Scanning Electron Microscope, ESEM)是一種高級(jí)顯微鏡技術(shù),結(jié)合了掃描電子顯微鏡(SEM)與環(huán)境控制技術(shù)的特點(diǎn)。與傳統(tǒng)的掃描電鏡相比,環(huán)境真空掃描電鏡具有更多的功能和靈活性,特別是在處理非導(dǎo)電、非導(dǎo)熱或含水樣品時(shí)。
主要體現(xiàn)在以下方面:
1、環(huán)境控制:與傳統(tǒng)的SEM需要在高真空環(huán)境下工作不同,ESEM可以在低真空或環(huán)境壓力下工作。這使得研究者能夠觀察那些在傳統(tǒng)SEM中難以觀察的樣品,如生物樣品、含水的地質(zhì)樣品或容易氧化的材料。
2、減少樣品制備:由于環(huán)境掃描電鏡能夠在低真空下工作,因此可以減少或省略許多傳統(tǒng)的樣品制備步驟,如脫水、干燥、噴金等。這不僅簡(jiǎn)化了樣品制備過(guò)程,還保留了樣品的原始狀態(tài)。
3、動(dòng)態(tài)觀察:ESEM允許在更自然的條件下觀察樣品,甚至可以觀察一些動(dòng)態(tài)過(guò)程,如生物樣品的生理活動(dòng)、化學(xué)反應(yīng)的進(jìn)行等。
4、高分辨率成像:盡管在低真空或環(huán)境壓力下工作,但ESEM仍然能夠提供高分辨率的圖像,幫助科學(xué)家更好地理解樣品的微觀結(jié)構(gòu)和形態(tài)。
5、多功能性:除了常規(guī)的形貌觀察外,ESEM還可以與其他技術(shù)(如X射線能譜儀)結(jié)合,進(jìn)行微區(qū)成分分析。
在應(yīng)用方面,
環(huán)境真空掃描電鏡廣泛用于多個(gè)領(lǐng)域,如金屬、陶瓷、礦物、水泥、半導(dǎo)體等材料的顯微形貌觀察與分析,各種材料微區(qū)化學(xué)成分的定量檢測(cè),以及生物、醫(yī)學(xué)和農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域的科學(xué)研究。
金屬及合金、斷口、焊點(diǎn)、拋光斷面、磁性及超導(dǎo)材料
陶瓷、復(fù)合材料、塑料
薄膜/涂層
地質(zhì)樣品斷面、礦物
軟材料:聚合物、藥物、濾膜、凝膠、生物組織、植物材料
顆粒、多孔材料、纖維
水合/脫水/濕潤(rùn)/接觸角分析
結(jié)晶/相變
氧化/催化
材料生成
拉伸(伴隨加熱或冷卻)