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技術(shù)文章

看看這篇文章,了解一下掃描電子顯微鏡!

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  掃描電子顯微鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。廣泛用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質(zhì)礦物、商品檢驗(yàn)、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析??梢杂^察和檢測(cè)非均相有機(jī)材料、無機(jī)材料及在上述微米、納米級(jí)樣品的表面特征。
 
  掃描電子顯微鏡是以能量為1-30kV間的電子束,以光柵狀掃描方式照射到被分析試樣的表面上,利用入射電子和試樣表面物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的二次電子和背散射電子成像,獲得試樣表面微觀組織結(jié)構(gòu)和形貌信息。配置波譜儀和能譜儀,利用所產(chǎn)生的X射線對(duì)試樣進(jìn)行定性和定量化學(xué)成分分析。掃描顯微鏡的電子槍為場(chǎng)發(fā)射電子槍,通過高能電子束照射被測(cè)樣品后所產(chǎn)生不同的物理信號(hào),而后對(duì)不同的物理信號(hào)進(jìn)行分析得到被測(cè)樣品的多種信息。
 
  掃描電鏡儀器技術(shù)的發(fā)展進(jìn)一步提高電子束照明源的工作穩(wěn)定性,減小其閃爍噪音;進(jìn)一步提高在低加速電壓下對(duì)大試樣觀察和分析的分辨率;開拓同低能掃描電子顯微術(shù)有關(guān)功能的新儀器技術(shù)。掃描電子顯微鏡有較高的放大倍數(shù),有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);試樣制備簡(jiǎn)單,目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀(EDS)裝置,這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析。

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